考虑到在无尘室内使用，在本公司的构成自动调芯系统的步进马达滑台上进行了起尘试验。
＊ 判断是否适用于无尘室取决于整体的装备构成、使用频率和使用条件。
将该数据作为产品选型的参考值使用。
本次试验使用本公司的标准润滑脂。
| 1.试验分类 | 起尘量试验 |
| 2.温湿度条件 | 温度：24～80℃ 湿度：48～54％ |
| 3.试验场所 | （ 社）日本空气清净协会试验所琦玉县草加市稻荷5－27－1 |
| 4.试验样本 | 名称 6轴自动滑台SE6200 尺寸(H×W×D)450×300×250mm |
| 5.试验项目 | 粒子起尘量 |
| 6.试验方法 | 遵照JISB9926[无尘室·使用设备的运动机构的起尘量测量方法 ●试验装置：立式起尘量试验装置（右图） ●光散射粒子计数器：MetOne205 |
| 7.运动条件 | 1个循坏（3分钟）的详情 ①各6轴的原点复位 ②各6轴，从机械原点向初始位置移动 ③执行虚拟接触感测 (θx左移0.4度、右移0.4度，θy左移0.2度、 右移0.2度，Ｚ前进5μm）如此重复5次。 ④执行虚拟峰值搜索 Ｘ移动10μm、Ｙ移动10μm、Ｘ移动－10μm、 Ｙ移动－10μm）×10次 |
| 8.试验结果 | 试验样本：6轴自动滑台 试验风量Ｑ：1.0m3/min 测量时间：各60分钟（通电时及其前后） |
